Impianto di Sputtering Kurt J Lesker. Impianto completamente revisionato e decontaminato. Anche l'impianto elettrico e la strumentazione di controllo sono stati revisionati e certificati. Importante modifica del sistema di caricamento automatico (Load-Lock) per campioni da 4 " e sistema porta-campioni rotante raffreddato ad acqua. Montaggio di un catodo da 8" e della rispettiva rete di adattamento RF. Pressione limite 5E-8 mbar.

Impianto da alto vuoto per test di collaudo di sensori (contatori di ioni) completamente revisionato. Gruppo di pompaggio Turbomolecolare 1000 L/sec e pompa primaria a secco tipo Scroll. Generatore a fascio ionico e regolazione del flusso dei gas di processo.

Attivita' di ricerca perdite conto terzi tramite cerca fughe ad elio.

Adattamento di impedenza e componentistica a Radio Frequenza.