Componenti speciali per il vuoto

zoom		 Catodo Magnetron
Catodo Magnetron da 6 inch. Backing-Plate in rame monolitico. Polarizzazione RF-DC e DC pulsato. Potenza massima 1500 WATT. Raffreddamento ad acqua. Magneti permanenti in terre rare (neodimio). Trattamento di nichelatura, realizzati su richiesta. Isolatori in teflon e guarnizioni in Viton®.

zoom		 Schermi per catodi Magnetron

Schermi per catodi magnetron, adattamenti di impedenza tra generatore RF e relativo carico, connettori per collegamenti alta tensione e radio frequenza.

zoom		 Valvola di regolazione per alto vuoto

Valvola di regolazione per alto vuoto flangiata DN160-ISO KF in anticorodal monolitico. Azionamento 0-90 tramite segnale normalizzato 0-20 mA o 0-5 Volt. E' possibile il collegamento in retroazione PID con opportuni sensori di pressione al fine di mantenere costante il valore della pressione nella camera di processo. Range di conduttanza da 2,5 a 3500 L/sec.

zoom		 Valvola di regolazione per alto vuoto

Valvola di regolazione per alto vuoto flangiata DN40-ISO F in acciaio inox monolitico. Azionamento 0-90 tramite segnale normalizzato 0-20 mA o 0-5 Volt. E' possibile il collegamento in retroazione PID con opportuni sensori di pressione al fine di mantenere costante il valore della pressione nella camera di processo. Range di conduttanza da 1,5 a 150 L/sec.